Trasduttore combinato Piezo/Pirani per applicazioni di Load-Lock
Il vacuometro digitale Thyracont VSL impiega sensori combinati Piezo/Pirani per coprire un campo di misura da 1200 a 1×10⁻⁴ mbar, ed è specificamente ingegnerizzato per sistemi di load-lock.
La sua architettura con doppio sensore piezoelettrico monitora le fasi di pump-down e vent-up, mentre il sensore Pirani gestisce il trasferimento a basse pressioni per ridurre la contaminazione da particelle.
L’uscita di pressione differenziale permette un’attivazione precisa dei meccanismi e l’integrazione è garantita da interfacce multiple, che includono l’uscita analogica 0-10 V, la seriale RS485 e i bus di campo EtherCAT e PROFINET.
